MEMS

Micro Electrical Mechanical System

Sistema elettromeccanico dalle dimensioni microscopiche (ma non ancora nanometriche). Può essere utilizzato, singolarmente od in combinazione, su dispositivi miniaturizzati o di dimensioni ordinarie.
Meccanismi MEMS, ad esempio, vengono utilizzati per realizzare circuiti integrati, processori, memorie sempre più piccole e con prestazioni migliori.


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